【摘 要】
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本文研究了一种高稳定大量程的基于复合光纤干涉仪的位移测量系统。为了使位移测量系统能够达到大量程、高分辨率的目的,测量系统采用了复合光纤干涉的测量方法,本文中进行了
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本文研究了一种高稳定大量程的基于复合光纤干涉仪的位移测量系统。为了使位移测量系统能够达到大量程、高分辨率的目的,测量系统采用了复合光纤干涉的测量方法,本文中进行了理论分析和和实际的实验验证。这种基于复合光纤干涉仪的位移测量系统是利用光纤光栅作为反射镜,构成了两个干涉光路几乎共路的光纤迈克尔逊干涉仪。其中的一个Fiber Michelson Interferometer (FMI)通过反馈控制电路补偿环境干扰等因素对测量系统的影响,使测量系统适合于在线测量；另一个FMI则用于完成测量工作。这两个不同波长的光同时用于完成测量的干涉仪中,两个波长的合成波干涉信号决定系统的测量量程,可使测量量程大于1mm；其中一个单波长干涉信号来确定测量分辨率,测量分辨率可达小于lnm。该测量系统可实现高稳定的大量程高分辨率在线位移测量。
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