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同步辐射是继电光源、X光源、激光光源之后第四种对人类文明有革命性推动的新光源。光束线是同步辐射装置的重要组成部分,主要由单色仪、准直镜和聚焦镜组成。三者的核心部件即光学元件的稳定与调节均由精密调节平台完成,六杆并联机构以其独特的优点,在同步辐射光束线中得到了越来越多地应用。
并联机构是一类全新的调节运动结构,它具有高刚度、高精度、高承载能力和结构简单紧凑等优点,其应用几乎涉及现代尖端技术的各个领域。
光束线六杆并联机构是一种特殊的台体型Stewart机构,具有6个自由度。应用中其六维调节由于缺乏理论指导,调节困难,工作效率较低。为提高收敛速度和调节精度,本文从相关物理模型出发,运用齐次坐标变换法详细分析了光束线六杆并联机构的逆运动学问题,得到六杆长度的精确求解方程组。采用MATLAB对系统仿真计算,得到相应的杆长变化曲线及其变化规律。
以六杆并联机构的逆运动学为基础,采用信赖域法对非线性超越方程组进行优化,编制相应的MATLAB程序,求解机构的下运动学,得到了动平台中心的运动轨迹和基本规律。信赖域法是解决正运动学问题的有效途径,求解程序稳定可靠,运算速度快,误差小,线性精度达10-12mm,转动精度达10-15deg。采用差动螺旋的微动调节方式,能使单色仪箱体姿态的线性调节分辨达5.1μm,转角分辨达3.7",完全满足实际工作的要求。六杆并联机构的运动学分析为光束线光学平台的精密调节提供了理论指导。
此外,本文采用有限元分析软件MSC.Patran/Nastran详细分析了光束线六杆并联机构的应力和应变情况,证实了该机构完全满足实际工程的高强度和高刚度要求。