微机电系统（MEMS）是目前一个新兴的学科交叉领域,具有广泛的应用前景。但是由于MEMS器件设计过程的特殊性,一种用于MEMS辅助设计的计算机软件（MEMS CAD）已经成为MEMS必不可少的设计工具,其中的材料数据库是这种设计工具的重要组成部分,也是实现MEMG设计、加工及其仿真的重要基础,是实现MEMS产品规范化的保证。同时,MEMS材料数据库的设计与开发对于实现微机电系统产品的设计开发,实现产业化等具有重要的理论和应用价值。 首先,针对当今MEMS器件的结构化设计方法,从系统的高度,论证了MEMSCAD对MEMS器件设计的必要性。综合对比当今大型MEMS CAD软件,分析了MEMS CAD中的重要组成部分一材料数据库在MEMS器件的设计综合分析、加工和仿真、产品测试等不同阶段的重要作用。 其次,结合MEMS材料属性数据的半结构化和XML语言自描述性的特点,提出了用XML技术实现材料数据库的设计,采用XML语言描述其数据文档结构,进行了数据模式设计,并将这些文档作为数据库的底层数据。根据设计平台的要求,确定了数据库的用户界面、数据操作、底层数据文档的三层体系结构。同时确定用Tk（图形用户界面包）作为界面设计工具,用Tcl（工具命令语言）作为数据操作语言。 最后,实现了数据库数据的增加、修改、删除等功能,并且有效的与实验室平台（MEMS GARDEN3.0）进行集成。收集了大量的实验数据,对数据进行了分类,确定了数据库的数据内容。数据库大约保存了100多种材料的数据属性,其中包含如SiO₂、单晶硅、SiN等MEMS加工中常用的材料,每个数据都同时记录了数据值、加工条件、数据来源等。这些数据必将大大方便MEMS设计并可以作为设计人员的有效参考工具。