本论文通过化学浴沉积法,在氧化锌粒子膜表面制备了ZnO纳米棒阵列,进而通过水热和溶剂热法,在ZnO纳米棒阵列上分别组装了SnO₂-ZnO和TiO₂-ZnO纳米棒阵列。利用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、透射电子显微镜（TEM）、X射线光电子能谱（XPS）和X射线衍射仪（XRD）对其进行了形貌和结构分析,结果表明,相互交叉的单晶纳米棒构成了较为规整的ZnO纳米棒阵列,纳米棒长约2μm,直径约为30-50 nm;在SnO₂-ZnO纳米棒阵列中,表面复合的SnO₂由纳米棒及纳米粒子单晶构筑,纳米棒直径约10 nm,长约50 nm,纳米粒子大小约为5-10 nm;在TiO₂-ZnO纳米棒阵列中,复合的TiO₂仅为直径几纳米的多晶纳米粒子。三种纳米棒阵列对乙醇、丙酮、甲苯、甲醇、氯苯、一氧化氮、甲烷和甲醛气体的气敏性测试结果显示,ZnO纳米棒阵列对丙酮和乙醇有较好的响应,在最佳工作温度330℃时,对100μL/L的丙酮和乙醇的灵敏度分别为17和13,在0.1-100μL/L浓度范围内,ZnO纳米棒阵列对丙酮气体具有很好的线性关系,可以较快速地检出0.1μL/L的丙酮气体。表面复合SnO₂后,显著提高了ZnO纳米棒阵列对乙醇的选择性,并将最佳工作温度降低了40℃,在290℃下,对100μL/L乙醇的灵敏度达到了65,对乙醇的最低检测限为0.1μL/L。而TiO₂纳米粒子的复合,显著提高了ZnO纳米棒阵列对甲醛的气体选择性,在217℃下,TiO₂-ZnO纳米棒阵列对100μL/L甲醛的灵敏度为278,对低至0.01μL/L的甲醛也有高达53的响应。