谐振是一种不仅在单纯的机械、化学、光、电、磁系统中存在,而且在各种涉及上述多个能量域之间相互能量转换过程的系统中广泛存在的现象。谐振式传感器工作在系统的谐振状态,此时系统以最低的损耗维持输入能量,而对于工作于谐振状态的敏感系统,环境参数的微量变化对系统特性参数的调制作用得到增强,因此利用谐振器制成的传感器具有功耗低、输出信号的信噪比高、抗干扰性强等诸多优点。随着数字电路技术的迅速发展和广泛应用,谐振器成为传感技术领域中非常重要的研究方向。而石英音叉谐振器是现有谐振器中性能优势比较优良的一种,它的合理尺寸、低功耗、输出数字信号等优点,使其能够适应该领域研究未来的发展,因此,石英音叉谐振器成为当今国际研究的热点之一。本文主要针对石英音叉谐振器的谐振机理、有限元仿真和热敏特性等方面展开,对石英音叉谐振器进行研究。首先对石英音叉谐振器的振动模式进行了分析,讨论了使石英音叉谐振器产生弯曲振动的机理。然后通过公式推导建立了石英音叉谐振器的有限元数学模型,同时选用有限元分析软件ANSYS对石英音叉谐振器的前十阶振动模态进行了模拟。对有限元分析得到的谐振频率、解析法得到的谐振频率与实验测得的谐振频率进行比较。最后,讨论切型对石英音叉谐振器热敏特性的影响,建立了测试系统对谐振器的性能进行整体评估。在MATLAB中使用最小二乘法对石英音叉谐振器的热敏特性进行了分析。