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随着能源危机和环境问题的日益加剧,寻找合适的新能源成为国际上关注和研究的焦点。太阳能作为清洁可再生能源备受青睐,经过多年发展太阳能电池材料也得到充分的研究。非晶硅薄膜太阳能电池比传统的硅太阳能电池更为环保,将会占据重要地位。本文主要研究非晶硅太阳能电池中透明导电层和本征非晶硅层的制备和性能。透明导电层方面采用超声喷雾法制备掺氟氧化锡(Fluorine doped tin oxide, FTO)薄膜。研究了溶液组分、衬底温度、喷雾时间等沉积条件对其光学和电学特性的影响,获得高透光率和低方块电