高精度大行程光学镜架微驱动器的研究

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该课题的任务就是要设计一套大行程高精度微驱动机构,用它驱动光学镜架,使系统达到课题提出的性能指标.针对该课题的特点,作者选用了电磁铁箝位式的压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式.作者顺利实现了微戏劝器的设计制作,完成了系统的安装调试,并在此基础上,对所设计系统的性能进行曲初步的测试分析.作者成功匠设计了箝位装置用电磁铁,并对电磁铁的设计与制作做了一定程度的研究探讨.通过对大行程高精度光学镜架微驱动系统的静态和动态特性实验,证明了该系统具有较高的精度,能够精密驱动和快速定位,在需要大行程、高分辨率、高精度、快速定位的场合有着广阔的应用前景.
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