本文在把握微细电火花技术的国内外发展的现状基础上，对微细电火花技术做了深入的研究，就微细电火花的加工原理，在阐述其放电蚀除过程的同时，对复杂的放电过程进行了分析，对放电能量的转换进行了图示总结，并且研究了加工后工件的表面质量和电参数影响的关系，利用窄脉宽放电实验方法把表面质量可能的结果进行了分类研究，对表面凹坑的形成原因和形成的大小进行了研究，采用ANSYS有限元仿真软件进行建模仿真，模拟加工过程的温度场，并对仿真结果进行图像处理，可以看到不同时刻的温度变化和最终凹坑形成的大小，利用公式对其进行修正，得到凹坑的变化趋势，验证放电参数对表面质量的影响规律。课题针对这项技术的加工工艺特性做了深入研究，优化设置多目标参数，采用的是科学的正交试验方法，对各种参数对加工过程的变化规律进行总结，通过打孔的实验得到了加工效率和电极损耗下的优化参数，对粗加工和精加工的参数优化有很大的指导作用。在加工0.1mm以下的微细结构时，用到了精加工的参数优化设置，经过两次实验得到了很好的实验效果，为加工此类微细的结构提供了有力的参考，并尝试了自己设计的隔爆板和微齿轮的加工，根据不同的材料，选择参数的组合，经过多次的实验，成功的加工出符合设计要求的隔爆板和微齿轮，总结出了加工工艺，为以后复杂零件的加工提供一个参考。对于极微细的结构，需要相应微细的电极，本文通过比较众多的在线制作微细电极的方法，选用了块电极反拷法进行了加工，制备出了直径在0.1mm、0.08mm、0.05mm的不同电极，利用加工出的电极进行了打孔实验和窄槽的加工，并制作出了直径约为0.012mm的电极，长径比在1:30以上，为制作精细的三维结构奠定一些基础。