高性能磁性传感器集成微系统技术研究

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从21世纪以来,随着集成电路领域的高速发展,以及在受到汽车电子、工业电子、物联网等领域的强势推动下,传感器迎来了飞速发展,2019年全球传感器市场规模达到了2665亿美元,其中磁传感市场规模达到25亿美元左右。而磁性传感器因为成本较低,体积小,集成度高等优势不仅在航空航天、磁引信等军事领域得到广泛应用,而且在例如医疗生物、交通运输、汽车电子、智能设备等民用领域中占据了不可缺失的地位,这些领域的应用也对传感器的性能有了更高的要求。因此对高性能的磁性传感器微系统开展研究具有重要的研究意义,常用的各种类型的磁性传感器具有不同的特点和性能,基于此,本文对磁性传感器微系统中的电路以及系统方法展开一定的研究,并以霍尔元件为基础,设计相关的系统电路,本文的主要研究内容和贡献如下:(1)针对磁性传感器系统内部供电电源进行了相关设计和改进,在全MOS管的低功耗带隙基准的基础上对修调方式做出了一定的调整,减小了电路开销,同时设计电路针对电源上电时稳压电路输出端的过冲进行了抑制,提升了整体性能,起到了保护作用。(2)针对系统电路中的过温保护需求,结合实际情况设计了一种无运放无带隙的过温保护电路,其结构简单,功耗较低,且能实现温度阈值窗口在一定范围内的修调。(3)设计了系统中的温度传感器电路,基于传统的温度传感器中的积分放大电路,改进了输出失调存储方法,减少了传统电路的时序,降低了整体的失调,提升了温度传感器的精度。(4)于Cadence Virtuoso仿真软件中基于0.18μm工艺实现磁性传感器电路温度补偿系统以及相关的部分电路模块。该系统可工作于-40 125℃温度下,输入电压范围较宽(3.3 5.5 V),静态功耗控制在较低水平且具有123 ppm℃左右的温漂特性。仿真结果表明,本文设计的磁性传感器系统在工作电压范围内,与其他已发表的相关霍尔传感器的文献进行比较,本文设计的系统具备良好的温度漂移特性、功耗特性和线性度。
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