【摘 要】
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随着微纳米技术的飞速发展,各种新材料不断涌现。薄膜材料因其具有的特殊结构和功能而得到广泛应用。在实际应用中,薄膜元器件所处的复杂服役环境常常导致其应力和应变失配而产生开裂、剥落等现象。材料的应力应变关系可以直观的表示出材料的弹塑性变形规律,在工程上具有重要的指导作用。因此,研究薄膜材料应力应变关系的表征方法是非常有必要的。鼓包法是少数能够通过一次鼓包实验同时得到薄膜材料的弹性模量、残余应力、界面结
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随着微纳米技术的飞速发展,各种新材料不断涌现。薄膜材料因其具有的特殊结构和功能而得到广泛应用。在实际应用中,薄膜元器件所处的复杂服役环境常常导致其应力和应变失配而产生开裂、剥落等现象。材料的应力应变关系可以直观的表示出材料的弹塑性变形规律,在工程上具有重要的指导作用。因此,研究薄膜材料应力应变关系的表征方法是非常有必要的。鼓包法是少数能够通过一次鼓包实验同时得到薄膜材料的弹性模量、残余应力、界面结合能等力学参数的表征方法之一。现有的鼓包测试模型主要针对的是薄膜材料的弹性模量、残余应力和界面结合能等参
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