【摘 要】
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本文利用CGSim晶体生长模拟软件计算分析了 3英寸VGF法GaAs单晶生长过程中的固液界面形状和热应力,研究了固液界面形状的形成和变化原因以及固液界面形状对热应力的影响。采用化学择优腐蚀法检测了生长出的GaAs单晶中的位错密度分布,并与数值模拟得到的热应力分布进行了对比,验证了数值模拟模型的准确性。采用霍尔效应检测的方法检测了单晶中的载流子浓度分布,研究了固液界面形状对载流子浓度分布及电学均匀性
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本文利用CGSim晶体生长模拟软件计算分析了 3英寸VGF法GaAs单晶生长过程中的固液界面形状和热应力,研究了固液界面形状的形成和变化原因以及固液界面形状对热应力的影响。采用化学择优腐蚀法检测了生长出的GaAs单晶中的位错密度分布,并与数值模拟得到的热应力分布进行了对比,验证了数值模拟模型的准确性。采用霍尔效应检测的方法检测了单晶中的载流子浓度分布,研究了固液界面形状对载流子浓度分布及电学均匀性的影响。最终得到以下研究成果:(1)固液界面上不同位置的生长速度正比于该位置的净热通量△q,△q越大,晶
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“无救济即无权利”,我国现行法律规定了群体性行政争议的法律救济途径主要有申诉、信访、行政复议、行政诉讼等四种,但对其中某些问题的规定仍有遗漏和不明确之处,从而直接导致“信访不信法”、“非正常上访”等现象的发生,在对公民合法权益保护不力的同时,还浪费了大量的司法行政资源,极端不利于将群体性行政争议的解决纳入正常的法治轨道。如何有效运用法律救济途径化解群体性行政争议是我们亟需研究的重要课题。目前我国群
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