激光选择性刻蚀有机复合材料/金属薄膜技术的研究

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航天器固面天线反射器在航空航天、信息传导,甚至军事国防领域发挥着重要作用,然而构成天线反射器的结构材料和表面功能图形材料在物理、化学性能方面有很大的差异,利用激光对这类有机复合材料/金属薄膜组合体系实现高精度的加工时,必须同时满足结构材料不损伤和功能层的加工精度两个要求。如何在复杂曲面零部件表面高质量、高精度、高效率地制造大幅面金属薄膜图形微结构,已经成为现代先进制造工艺亟待解决的核心技术难题。本论文采用1064nm红外激光和355nm紫外激光作为对比光源,对环氧树脂基覆铜板进行铜箔层直接刻蚀实验,并研究了不同激光工艺参数及铜层厚度对刻蚀质量的影响。同时提出一种全新的剥离式加工方案——激光在覆铜板上刻蚀图形轮廓后,采用离焦扫描的方式对铜箔层进行加热,通过汽化部分有机基底达到铜箔层与基底分离的目的,并最终实现了对实验基材的选择性刻蚀。实验结果及机理分析表明,激光剥离法具有更完好的微观形貌以及更低的Cu原子残留量,然而直接刻蚀法具有更稳定的加工重复性及一致性,其加工效率也更高。在成功实现二维有机复合材料/金属薄膜体系的高质量加工后,本论文选取红外激光直接刻蚀法作为最适合的三维刻蚀加工方案,利用实验室自主研发的―3+2‖型三维加工系统和激光三维投影加工技术,成功实现了二维刻蚀技术在三维曲面工件上的应用。并通过对大、小栅格尺寸划分的优化,满足了三维复杂曲面上金属薄膜图形结构的高质量、高精度、高效率激光精密加工的要求。
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