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随着现代微电子工业和首饰业的迅猛发展,金基合金的优异性能逐渐引起人们的重视。金基合金靶材是真空磁控溅射镀金过程中的基本耗材,不仅使用量大,而且其质量的好坏对镀金薄膜的性能起着至关重要的影响。我国靶材技术起步较晚,起点低,一些关键技术与国外差距较大。本论文以高品质金基合金溅射靶材为主要研究对象,研究Al、In合金元素的添加量及不同电磁搅拌强度和永磁搅拌转速对金基合金组织与性能的影响,同时探讨了电磁搅拌和永磁搅拌影响金基合金组织性能的作用机理。本实验采用自主研制的金基合金熔铸装置制备了不同Al、In添加量及采用永磁搅拌和电磁搅拌的金基合金试样,并对试样的凝固组织、物相组成、耐蚀性、溶质元素分布、显微硬度、色度进行了测试分析,取得了以下研究成果:1.A1元素的添加可以提高金基合金的硬度,增强合金的耐磨性,延长磁控溅射镀膜的使用寿命,Al的添加可以改变金基合金的颜色,使其色度由黄色经粉红向紫色方向发展;2.添加In元素可以改变金基合金的色度使其由黄色向蓝色方向发展,随着In含量的增加,金基合金的耐蚀性有显著提升,其硬度也得到一定提高,增强了合金的耐磨性,改善了金基合金的组织性能,提升了靶材的质量;3.相比于传统的铸造方式,通过施加不同强度电磁搅拌可以有效的细化金基合金枝晶组织,降低凝固组织微观偏析,同时晶粒细化可以有效提高合金的机械性能,为后续加工奠定了良好的基础,延长了磁控溅射镀膜的使用寿命;4.与传统的铸造方式相比,在金基合金凝固过程中施加永磁搅拌可以显著细化组织的枝晶化程度,降低合金元素的偏析程度,随着永磁体转速的增加,枝晶的细化效果明显提高,同时其硬度和耐蚀性也得到提升。