SrTiO3是一种具有典型的钙钛矿结构的材料,属于宽禁带金属氧化物,其本征禁带宽度为3.2eV。在室温下,本征SrTiO3不导电,属于绝缘体,但是通过适量的掺杂改性,可以变为半导体甚至超导体。通过改性的SrTiO3在特定波长光的照射下会发光,而且在光照的条件下可以分解水制氢,分解有机污染物,也可以用作固体氧化物燃料电池,是一种很有潜力的光电材料。本文以乙酸锶和钛酸丁酯为反应物,用溶胶-凝胶法制备出本征的SrTiO3,然后选用Mg2+、Al3+和La3+作为掺杂离子,制备出Mg掺杂SrTiO3、A1掺杂SrTiO3、和La掺杂SrTiO3之后采用X射线衍射、扫描电子显微镜对其结构、表面形貌和成分进行分析,最后采用光谱仪和四探针法对掺杂薄膜的发光性能和电学特性进行研究。主要工作从以下几个方面进行分析和研究：首先,优化工艺参数,制备本征SrTiO3薄膜。探讨了溶胶-凝胶法制备SrTiO3的优化工艺：讨论了冰乙酸和螯合剂乙酰丙酮、陈化条件和退火时间对SrTiO3薄膜质量的影响,优化了制备SrTiO3薄膜的工艺。其次,在制备本征SrTiO3薄膜最佳工艺的基础上,对其进行掺杂。本文选择了Mg2+、Al3+和La3+作为掺杂粒子。研究不同的掺杂类型和不同掺杂元素对薄膜的晶体结构、表面形貌、发光特性和电学特性的影响。