高加速度高精度的运动平台作为IC制造领域的一个核心部件，它的定位精度和稳定性直接影响着集成电路产业的生产效率，从很大程度上影响着键合的效率和质量。目前，芯片封装正在向着细间距、多引线、高效封装的方向发展。在这种发展形式下势必对高加速精密运动平台的定位精度、运动加速度、小距离频繁启停性能等动态特性提出了更高的要求。在高加速度高精度定位平台的定位过程中不可避免的会产生残余振动，这不仅影响了平台的定位精度而且也延长了平台的定位时间，势必会降低集成电路产业的效率。为了能够有效的抑制这种残余振动，提高平台的定位精度，可采用状态反馈控制算法对平台的振动进行实时抑制。结合国家科技重大专项“超高加速精密运动系统与控制技术”，本文深入分析了平台在定位后残余振动的振动特性，设计了状态反馈控制系统，并对控制算法的有效性进行了实验验证。首先，建立了用于有限元分析的XY平台简化模型，并用ANSYS定性的分析了XY平台振动的固有特性；建立了用于ADAMS分析的XY平台简化模型并用MATLAB和ADAMS联合仿真分析了XY平台振动的瞬态响应。其次，本文利用拉格朗日法建立了XY平台的数学模型，在此基础上获得了平台的传递函数，并对其进行了合理简化。利用简化后的传递函数选取了相应的状态变量得到了平台的状态方程，并利用能控性判据判定了系统的能控性，求出了平台的状态反馈矩阵，设计了平台的状态反馈控制系统。最后，通过搭建实验硬件系统以及基于dSPACE的控制系统，在本文设计的状态反馈控制系统的基础上测试平台的运动性能。并在测试的过程中采用小波分析法对加速度传感器的信号进行消噪处理。实验结果表明：采用状态反馈控制法能够使得Y运动部件的残余振动在10ms内降低到4μm，证明了文中所设计控制算法的有效性。