频率选择表面（Frequency Selective Surface,FSS）是一种附在基体介质表面,一层或多层排布的贴片或孔径组成的周期结构,具有空间滤波特性,被广泛应用于飞行器的隐身领域,目前FSS的制作主要集中在雷达罩的外表面,而分布在雷达罩外表面的FSS在高速飞行时极易被空气阻力损坏,因此亟需提出一种能够高效、高质量且低成本的制造深腔内表面电磁功能结构的加工技术。本文提出通过激光加工技术在深腔内表面制作电磁功能结构,首先通过HFSS仿真研究分析深腔内表面FSS的电磁特性;然后搭建激光加工设备主体并对实验相关装置进行设计和选型;接着提出弱自由度深腔内表面功能结构的激光加工方法,并设计加工工艺对深腔同比模型、铝板、银涂层平板进行加工实验,分析内表面加工技术特性;最后对深腔内表面整体进行加工并对加工误差进行分析。（1）通过HFSS软件对十字单元的电磁传输特性进行仿真分析,分析单元的特征尺寸在一定范围内的改变对传输特性的影响,接着对尖劈深腔件和半球曲面FSS的RCS特性进行仿真分析。结果表明,十字单元的横臂长度对电磁传输特性的影响最大,并得出了FSS加工时单元的特征尺寸所需达到的精度;同时,尖劈深腔内表面FSS的RCS特性要明显由于半球曲面FSS,能够有效地缩减雷达散射截面积。（2）根据加工原理及需求搭建了龙门式多轴激光加工设备,设计并选取了激光加工系统部件及相应的辅助装置,设计了适用于各种工件的定位夹具,并选取了用于观测的手持显微镜。结果表明,所搭建的设备各轴的重复定位精度高,具有很好的变焦能力,并有效地扩大了加工范围,能够满足大型深腔工件的定位和加工。（3）提出使用三维激光加工系统配合伺服导轨对深腔内表面进行加工的弱自由度激光加工方法。对待加工内表面进行模型建立和分区处理,通过三维激光加工系统直接对划分的区域进行刻蚀,配合伺服导轨完整区域衔接、焦距调整,完成深腔内表面的加工。通过尖劈深腔同比物理模型以及铝片以不同倾斜角度下的加工实验,验证了方案的可行性并分析了光斑变形对加工质量的影响;在银涂层小板的加工实验中采用样点均方根差和去除率来表征加工质量,通过激光参数化实验最终得出银涂层的最佳刻蚀参数;使用修正过的图案以及最佳的刻蚀参数完成对陶瓷尖劈深腔内表面进行整体加工,实现了要求的加工精度;并分析实验中的各类误差,主要包括定位误差、位移机构误差以及激光加工系统误差。结果表明,所提出的激光加工技术能够高效、高精度地在深腔内表面不同表层材料上加工FSS,且具有良好的电磁特性。