【摘 要】
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加速度计是惯性导航、制导和控制检测设备的重要测量器件，广泛用于航空、航海及武器的制导和控制系统。其中，数字式压电石英加速度计以其精度高、响应快、数字输出、抗干扰能力
【出 处】
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北京机械工业学院 北京信息科技大学
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加速度计是惯性导航、制导和控制检测设备的重要测量器件，广泛用于航空、航海及武器的制导和控制系统。其中，数字式压电石英加速度计以其精度高、响应快、数字输出、抗干扰能力强，以及无活动部件和反馈回路等特点而受到人们的关注。对于石英加速度计力．频特性的改善和温度等因素影响的抑制成为新的研究方向。
本文根据晶体振动的能限理论设计制作了单基三电极石英晶体谐振器。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(抛光)及边沿形状(倒边)对其力-频特性的影响；并与传统单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性进行了比对分析。抛光提高了谐振器的灵敏度系数和线性度，倒边使谐振器可以用固结的方式在其他检测设备中使用。
在此基础上，对原有转换结构和外围电路进行重新设计，制作了基于单基三电极谐振器的具有良好的温度抑制能力的压电石英加速度计。此加速度计量程±60g、灵敏度系数765Hz/g、非线性度0.876％(FS)。
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