随着我国现代科学技术的不断进步和发展，新型特殊材料的加工和应用已被世界各国广泛关注，常用材料的加工问题已经基本解决，但是超硬或超软材料的加工仍存在诸多难题，为此，本文主要以金刚石复合片和铌合金两种材料为研究对象，根据这两种材料的优异性能和难加工的特点，分析和总结它们物理机械性能及精密超精密加工现状的基础上，探索出适合它们的精密超精密加工技术，具体工作如下:　　本文采用在线电解修整(ELID)精密磨削技术对金刚石复合片进行粗加工。通过分析其磨削特征，建立压痕断裂力学模型和单颗磨粒磨削模型，研究金刚石复合片横向裂纹和径向（中央）裂纹产生的临界条件、裂纹的形成与扩展及应力场的分布情况。根据金刚石复合材料的特性，采用优化的工艺参数对其进行磨削试验，研究电压、电极间隙、砂轮线速度、磨削力与磨削深度等参数对实验效果的影响规律。　　采用精密超精密研抛技术对金刚石复合片进行精加工，通过正交实验，研究研抛压力、抛光盘转速、抛光液和抛光时间等参数对工件表面粗糙度的影响规律，基于最优工艺参数组合进行验证试验，得到表面粗糙度Ra0.019μm的金刚石复合片光滑表面。　　在铌合金球面精密/超精密抛光技术的研究中，首先通过研究铌合金平面抛光技术，分析抛光过程中各因素对平面抛光效果的影响规律，得出铌合金平面抛光工艺参数和加工方法，以此为依据设计出球面气囊抛光装置，使主轴转动和装置摆动的运动轨迹可以覆盖整个球面，实现对球面的精密抛光加工。采用专用的抛光液和抛光垫进行试验，分析抛光液成分、PH值，抛光垫种类、厚度，研抛压力等因素对球表面加工质量的影响，得到表面粗糙度为0.039μm的已加工球表面。