【摘 要】
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脉冲激光溅射镀膜(PLD)技术具有许多独特的优点,在世界范围内已越来越受到广泛的注目,但有关其机理和应用研究在许多方面刚刚开展,有很多有待研究的课题.该论文针对对PLD技术
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脉冲激光溅射镀膜(PLD)技术具有许多独特的优点,在世界范围内已越来越受到广泛的注目,但有关其机理和应用研究在许多方面刚刚开展,有很多有待研究的课题.该论文针对对PLD技术的薄膜制备机理及其用于气敏膜、压电薄膜等实用功能材料薄膜的制备,做了如下的研究工作:首先针对PLD镀膜中出现的薄膜厚度分布不均,靶表面易被激光烧蚀等问题研制了激光扫描系统、靶转动系统和基片转动系统.靶表面同激光的作用区域由交点变成圆面,更有效地利用了靶材,同时减少了靶表面蚀坑的出现,提高了薄膜的质量.通过理论计算得为靶与基片间距离的一半时获得了厚度分布和成份发布非常均匀的薄膜.这些工作为制备性能稳定的薄膜奠定了基础.
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