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MEMS(Micro Electro Mechanical System)陀螺尺寸小、重量轻、可靠性高,在军事和民用等领域展现出广阔的应用前景。但是限于性能,MEMS陀螺主要用于中低精度导航。对MEMS陀螺进行误差特性分析、建模和补偿是提高精度的有效手段,是当前MEMS陀螺研究的热点之一。论文针对MEMS陀螺误差特性开展研究。建立MEMS陀螺仿真模型是分析其误差特性的基础。论文讨论了MEMS陀螺建模的级别,对比分析了ANSYS有限元分析软件模型、等效电路模型、VHDL-AMS模型、SIMULINK模型各自的优缺点,建立了MEMS陀螺四种仿真模型,通过仿真验证了所建模型的正确性。基于所建立的仿真模型,论文研究了机械热噪声特性、温度特性和正交误差特性。针对带限滤波器不能有效减小机械热噪声的问题,利用相关滤波理论对机械热噪声进行研究,有效减小了机械热噪声。为了分析环境温度对MEMS陀螺的影响,提出了ANSYS与SIMULINK相结合的分析方法,对一类微石英音叉陀螺进行仿真研究,验证了分析方法的有效性,应用最小二乘法和BP神经网络对陀螺温度误差进行补偿,较好地改善了MEMS陀螺零位漂移。运用平均化分析方法分析了机械弹性耦合引起的正交误差特性,推导出正交误差与陀螺结构参数的定量关系式,为研究正交误差提供了一种新的途径。为了进一步提高MEMS陀螺抑制噪声和环境干扰的能力,建立了闭环检测系统模型并与开环检测系统进行对比,结果表明闭环检测系统具有更强抑制噪声的能力,受环境温度影响较小,其整体性能要优于开环检测系统。论文通过对MEMS陀螺建模、机械热噪声特性、温度特性、正交误差特性等内容的研究,明确了MEMS陀螺误差特性的机理,为更加合理的建模和补偿奠定了基础,对于实际应用中提高MEMS陀螺的性能具有重要的指导意义。