随着电火花线切割和电火花铣削加工技术的发展，对加工表面精度的要求越来越高，必须考虑电极与工件间的相对高速运动对蚀除凹坑和加工表面粗糙度的影响。材料蚀除凹坑的大小直接影响工件的表面质量，材料的蚀除主要是靠放电产生的高温，因此对放电温度场的分析是研究蚀除凹坑的重要方式。利用有限元法对电火花加工温度场、放电蚀坑的大小和深度进行分析研究对了解放电加工机理，提高表面粗糙度等加工特性有重要意义。本文对电火花加工机理进行了深入讨论，分析了电火花加工放电的物理过程，考虑了放电总能量在两电极之间的分配和相变的影响，分别建立了基于单脉冲放电的固定热源和移动热源条件下的工件传热模型。得到了呈高斯分布的热流密度公式和常功率移动点热源在无限大区域中的非稳态热传导的计算公式。利用ANSYS软件对建立的电火花放电传热数学模型进行温度场仿真。采用APDL语言编程实现了固定和移动热流密度的加载，并对温度场进行了循环求解。并分析了不同脉冲宽度和电流下的温度场分布。通过对固定热源和移动热源作用下熔融区宽度方向和深度方向尺寸变化规律的分析。发现当电极与工件之间相对移动速度越高工件表面粗糙度会越低。