随着光通信技术的长足发展,移动互联在中国已经快速普及,通信的容量也越来越大,光纤通信也进一步朝着小型化、集成化的方向发展。近几年光子集成技术与电子集成技术一样飞速的发展,而平面光波导技术是其中非常重要的一点。平面光波导器件是基于平面光波导技术,将光器件实现集成化,提高器件的容量和稳定性,同时大大减小了体积。平面光波导器件制造过程中比较重要的一步为器件的耦合,目前光路对准调试过程主要是在显微镜下由人工手动调试完成。手动调试耗时长,且调试的重复性与稳定性受员工技能水平影响,个体差异性较大。此外,手动光路调试对操作人员在熟练度及设备熟悉程度有较高要求,培训周期长,不利于光器件快速批量生产。因此传统手工或半自动调试方法已不适应更多通道更小尺寸更高精度的光器件耦合调试要求,本文目的是研发出一套自动耦合系统实现全自动的耦合调试。对光波导理论进行研究,介绍了平面波导器件的对接耦合方法,并通过分析得出光波导耦合中损耗的来源,并在耦合过程中加以改进。在具体系统研制方面,本论文在硬件电路上、机械结构上、软件及控制算法上对研制该系统进行了论述。首先在硬件电路上采取了ARM控制的结构,通过PD采集光功率,ADC采样来反馈控制电机的运动。之后在机械结构上通过电机与连接块的装配完成了左右两端六维微调架的组装,并根据器件和接近传感器位置和大小设计耦合夹具。在软件及控制算法上采用了上位机结合下位机控制的方法,其中采用了多种算法如回差消除法、二次拟合法、图像处理等。系统研制完成后,实现了以下特点:(1)耦合时间短;(2)系统稳定性高;(3)器件胶厚达标;(4)耦合精度高。实际生产表明,该系统能够胜任平面光波导器件的生产。