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本研究利用射频磁控溅射离子镀和直流磁控溅射离子镀复合镀技术在不锈钢基体表面沉积TiN/Cu、TiN/Cu/Ag膜层,以期制备兼具良好的机械性能和优异的抗菌性能的复合膜。
通过SEM形貌扫描、硬度与摩擦磨损性能测试、耐蚀性测试、能谱分析、XRD分析测试、抗菌性能测试等手段对所得膜层进行分析。
研究发现,综合利用射频、直流磁控溅射离子镀技术,在双靶同时工作条件下,通过多层(层数≥10)复合TiN/Cu薄膜,能够在不锈钢基体上制备出机械性能与抗菌性能俱佳的复合膜。