在超精密加工、测量以及航空航天设备环境干扰以及系统本身的动力系统,不可避免地会引起整个系统的振动,微幅、超微幅振动的影响变得十分突出,严重影响到加工精度和精密仪器的运行。隔振技术是抑制精密仪器振动的关键技术,分为主动和被动隔振两种。被动隔振结构简单,可靠性高而被广泛采用,然而其对低频及谐振附近干扰隔振能力差。主动隔振能有效解决这一问题。磁悬浮隔振器具有无接触、寿命长、响应快等优势,是一种较理想的主动隔振器。本文首先根据需要确定了合适结构和参数,设计了磁悬浮隔振器,将其与被动隔振系统组成了磁悬浮主动隔振系统,展开理论建模和仿真工作,取得的主要研究成果如下：(1)设计了一种磁悬浮主动精密隔振器,建立了磁悬浮隔振器的数学模型,利用ANSYS软件计算了磁悬浮隔振器电磁场的分布规律和电磁力大小,为进一步磁悬浮隔振器控制以及系统特性分析提供了理论依据。(2)将磁悬浮主动精密隔振器分别应用到单层单自由度、单层多自由度,双层隔振系统中,建立了磁悬浮主动单层单自由度、单层多自由度及双层精密隔振系统的动力学方程；选择适当的状态变量、输入量和以隔振对象输出加速度大小为输出量,推导了相应系统的状态方程,为下一步建立控制模型及仿真实验做准备。(3)提出了一种基于输出加速度响应最小的主动隔振控制策略,推导出最优反馈矩阵,建立了控制模型。将控制模型应用到磁悬浮单层单自由度精密隔振系统、磁悬浮单层多自由度精密隔振系统及磁悬浮双层精密隔振系统。仿真结果表明,磁悬浮精密主动隔振系统与被动隔振系统相比,隔振效果显著提高,尤其在谐振区附近磁悬浮主动精密隔振系统,具有很好的隔振效果。