3英寸双面YBCO薄膜热场及膜厚分布研究

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【摘要】

：

本文针对φ3英寸YBCO高温超导双面薄膜的制备技术，研究了靶材烧制、薄膜膜厚分布、加热器设计与制作，制备出了具有87k超导性的3英寸YBCO双面薄膜样品。首先通过对烧结工艺条件的探索，最终找到较好的工艺条件烧结大尺寸筒型YBCO高温超导靶材。其次，对φ3英寸范围内的膜厚分布进行了理论模拟，在此基础上和试验结果对比分析，发现：在倒筒靶直流溅射装置下，如果采用一种让基片中心和靶中心处于相对偏心距离为1

【作者】

：

曾鹏伟

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2002年12期

【关键词】

：

YBCO 超导薄膜溅射技术

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