Micro-LED全彩化与准直结构研究

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本文采用量子点作为转换材料实现Micro-LED全彩化,对量子点材料特性、结构进行分析,并对其光致发光特性做系统总结,通过表面改性将其混入透明负性光刻胶之中,在Si衬底、玻璃衬底、Ga N基Micro-LED的表面上制备了色转换膜层并进行一系列测试分析研究。(1)基于不同质量比、不同厚度,对量子点膜层的光学特性包括透过率、吸收效率、量子产率(PLQY)、转换效率等进行了分析,并对量子点膜层吸收转换光谱进行表征,得到量子点产生自吸收的第一吸收峰530nm,并绘制分析量子点膜层辐射光谱,得到量子点膜层转换光发射峰值波长为红色631nm绿色536nm、半峰宽(FWHM)为红色33nm绿色23nm等数据,随后对红绿两种CF(滤色片)进行透过率测试得到其蓝光与对应波长透过率分别为1.5%和0.1%。(2)从三个方面入手提升量子点膜层转换效率,针对吸收效率较低的绿色量子点,通过加入高折射率散射粒子与设计分布布拉格反射镜分别将膜层吸收效率从20%与26%增加至60%和78%继而实现其转换效率接近3倍的提升,通过改变固化方式使红色量子点产生热激发现象,继而通过提升量子产率(PLQY)并成功实现提升红色量子点转换效率的目的,最后对热固化进行梯度试验,得到红绿双色量子点膜层最佳固化条件。(3)在转换膜层设计与图形化上通过在玻璃衬底与Micro-LED表面进行单步工艺,同时解决了膜层内Ti O2大范围团聚问题,在所有膜层单步图形化基础上进行组合膜层的设计与制备,得到最小像素尺寸为4μm的Micro-LED色转换膜层,通过激发后得到量子点转换膜层全彩显示效果图。(4)在准直结构设计方面通过分布布拉格反射镜(DBR)、黑色光刻负胶、微透镜阵列的设计制备,达到了减少侧向量子点材料之间的漏光串扰,以及提升准直出光度的一系列作用。实验结果表明,胶体量子点在新一代全彩Micro-LED微显示芯片制备与应用中的具有重要作用。
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