有机小分子发光材料8-羟基喹啉铝(Alq3)固态薄膜的荧光发射峰在510～520 nm附近，是很好的绿光发射小分子材料。它的绿光色调比较单纯，其发光效率和稳定性都比较好，被认为是有机发光二极管(OLEDs)和有机太阳能电池的主流基础材料。因此，对Alq3薄膜光电性能的研究是一项有意义的工作。本论文以不同的工艺参数在不同衬底上制备Alq3薄膜，并对其表面形貌和光学性能进行表征，得到以下结果:　　 (1) Alq3粉末的X射线衍射(XRD)图谱显示此形态下的Alq3为多晶:而Alq3粉末在真空蒸镀过程中形成的Alq3薄膜，其XRD图谱中没有尖锐的衍射峰，因而可以肯定Alq3薄膜为非晶态。　　 (2) Alq3粉末和Alq3薄膜两者发荧光所对应的跃迁主要是相邻分子喹啉环间电子的π-π*跃迁。非晶态Alq3薄膜的荧光发射峰较之多晶Alq3粉末的荧光发射峰出现红移现象，其原因是由于Alq3粉末在真空蒸镀成膜过程中，Alq3分子结构与分子堆叠方式发生变化，分子间的π-π相互作用增强引起能带变窄所致。　　 (3)不同的薄膜制备工艺参数（衬底、膜厚、沉积速率）对薄膜的生长及其光学性能的影响并不是很大，但在表面较粗糙的ITO玻璃上生长较薄的薄膜相对于在较光滑的蓝宝石和普通载玻片上生长的不同膜厚的Alq3薄膜来说，其荧光峰有约6-7 nm的红移，这种红移可归因于二维激子向三维激子态的转变。随着Alq3厚度的增加，荧光峰红移变缓并趋于饱和，这是由于激子与衬底相互作用所引起的非辐射衰变所致。　　 (4)在蓝宝石衬底上生长Alq3薄膜经过180℃退火处理后，薄膜表面形貌呈随机的丝状形态;经200℃退火处理后，其表面形貌呈有序的圆型辐射状毛边的形态，其荧光发射峰位由514nm蓝移至500 nm附近，说明Alq3薄膜中出现微晶，其结构为α-Alq3晶型。