【摘 要】
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该文采用多弧离子镀技术,选择铸态Ni-50at﹪Ti合金靶,分别在抛光的45＃钢和石英玻璃表面,在不同的制备工艺下成功地制备了Ni-Ti合金薄膜,利用金相显微镜、扫描电镜（SEM）、透射电镜（T
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该文采用多弧离子镀技术,选择铸态Ni-50at﹪Ti合金靶,分别在抛光的45＃钢和石英玻璃表面,在不同的制备工艺下成功地制备了Ni-Ti合金薄膜,利用金相显微镜、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、小掠射角X射线衍射（GXRD）、X射线光电子能谱（XPS）等技术和设备研究了Ni-Ti合金薄膜的制备工艺对薄膜性能的影响和薄膜的微观组织结构.
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