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微透镜是一种重要的光学元件,广泛应用于光学传感、成像等领域。其中具有长焦距的微透镜,在Shack-Hartmann空间波前传感器等很多应用中,起到不可或缺的作用,因此一直是近年来的研究热点。随着探测需求的不断提高,各类器件对制作技术的要求也越来越高,而已有的多种长焦距微透镜的制作方法可控性、一致性相对较差,焦距难以达到毫米量级,难以满足应用的需求,因此需要发展新的长焦距微透镜制作方法。针对这些问题,本文基于负性光刻胶的热回流和热膨胀,提出了一种新的长焦距微透镜制作工艺,实现了可控长焦距微透镜的制作。