VO2薄膜制备及其应用性能基础研究

来源 :重庆大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:niujicun
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
攀钢(集团)公司是我国最重要的钢铁钒钛基地,攀西地区蕴藏有丰富的钒钛磁铁矿资源,其中钒资源占全国的63%以上。三十多年来,攀钢(集团)公司利用钒钛磁铁矿资源生产了大量的钢材,以及大量的钒渣、V2O5、V2O3、钒铁等钒产品,使我国成为世界上主要的产钒国之一。但是,钒资源的综合利用程度还不够高,钒产品的种类还较少、产品档次和科技含量还比较低。因此研究开发新的、高科技含量的钒产品,从而进一步提高钒资源综合利用水平,是非常必要和迫切的。对功能材料VO2薄膜的研究倍受人们的关注。因为它的一个重要特性就是在较低温度(68℃)下发生金属—半导体相变(简称M-S相变),同时伴随光学性质和电学性质的突变。已有的研究中均以纯含钒原料来制备VO2薄膜,迄今为止,尚未见以工业V2O5为原料制备VO2薄膜的研究报道。在攀钢工业V2O5大量存在且价格较低的条件下,研究以它为原料来制备VO2薄膜,具有重大的现实意义。本研究得出了如下的研究结果(结论):(1)在实验室中打通了以片状工业V2O5晶体为原料、用改进无机溶胶-凝胶法制备V2O5溶胶-凝胶的工艺流程。制备V2O5溶胶的适宜工艺参数为:熔化V2O5的温度(800~900)℃、恒温时间(5~20)min;通过控制工艺参数来控制V2O5溶胶向凝胶的转变。该工艺参数为:溶胶中V2O5浓度须大于20 g/L,同时熔化V2O5的温度(800~900)℃,恒温时间(5~15)min。 (2)选择旋涂法和浸涂法作为日常的涂膜方法,可完全满足涂膜试验的要求。采用旋涂法时,胶体粘度越大、转盘转数越小、衬底越靠近旋转中心,则薄膜厚度越大;采用浸涂法时,胶体粘度越大、密度越小,则薄膜厚度越大,反之则越小。适宜的凝胶粘度为(1.0~3.0) Pa·S。 (3)改制和自制的涂膜装置以及研制的薄膜电阻-温度测量装置,均能满足常规实验要求,预期的效果较好。自制的浸涂法涂膜装置提拉速度为(1.5~3.0)mm/S;温度-电阻测量装置的主要性能指标为:使用温度范围为室温~150℃,温度控制精度为±1℃,升温速度(1~2)℃/min,降温速度约2℃/min,当启用冷却系统时,降温速度为(3~5)℃/min。 (4)用H2还原法和N2热分解法由V2O5薄膜制取VO2薄膜,无论在理论上还是在工艺上都是可行的。在实验室中打通了N2热分解法和H2还原法制备VO2薄膜的工艺流程,在普通玻璃衬底和石英玻璃衬底上制备出了具有显著M-S相变特征的VO2薄膜,并得出了适宜的工艺参数。N2热分解法的适宜工艺参数为:热分解温度450℃,恒温时间(13~20) h,薄膜厚度10.4μm,N2流量1 L/min;H2还原法的适宜工艺参数为:薄膜厚度10.4μm,还原温度400℃,恒温时间(3~5)h,H2流量也<WP=6>为1 L/min。在同等条件下,采用H2还原法、以石英玻璃作衬底是较好的VO2薄膜制备条件。(5)由N2热分解法制备VO2薄膜的电阻突变数量级在普通玻璃衬底上最大可达2.2,在石英玻璃衬底上最大可达2.6;由H2还原法制得的VO2薄膜的电阻突变数量级在普通玻璃衬底上最大可达2.6,在石英玻璃衬底上最大可达3.2;VO2薄膜的电阻突变温度约为35℃,接近室温,比纯VO2晶体的理论相变温度(68℃)降低了约33℃。采用上述两种方法制备VO2薄膜的电阻突变数量级总体上达到了国内外用纯含钒原料、在非晶体衬底上VO2薄膜的电阻突变数量级水平。(6)VO2薄膜的电阻突变温度滞后((TMS)为(1~4)℃。制备方法、衬底材质和S值的大小对(TMS有较大影响。由H2还原法制得VO2薄膜的(TMS比N2热分解法的小;石英玻璃衬底上的(TMS比普通玻璃衬底上的小;S值较大时(TMS较小,反之则较大;在自然放置条件下、短时间内VO2薄膜可经受反复多次的M-S相变,其S值及(TMS几乎没有变化,但随放置时间的延长以及受周围环境气氛的影响而逐渐降低。(7)杂质可使VO2薄膜的电阻突变温度降低,同时又可使电阻突变数量级减小。单一的离子半径较大的杂质或多元的使晶体中键长总体上伸长的杂质,都可使VO2薄膜的电阻突变温度降低;掺入MoO3时VO2薄膜电阻率突变数量级随掺入量的增大而减小,可用推导出的理论公式来预测MoO3掺入量对VO2薄膜电阻突变数量级的影响;由于杂质总含量较多,以工业V2O5为原料制备VO2薄膜的电阻突变温度、电阻突变数量级分别低于、小于以分析纯V2O5为原料制备VO2薄膜的电阻突变温度和电阻突变数量级。(8)V2O5薄膜和VO2薄膜都会被自来水、H2SO4溶液和KOH溶液侵蚀,侵蚀形式既有脱落又有溶解。随烘干时间延长,V2O5薄膜的耐蚀时间大幅度延长;H2SO4溶液和KOH溶液的浓度越高,则两种薄膜的耐蚀时间越短,反之则越长;VO2薄膜在三种介质中的侵蚀形式均为溶解,其耐蚀时间随薄膜厚度的增大而延长。
其他文献
孙中山先生(1866—1925年),幼名帝象,稍长取名文,字德明,号日新,后改逸仙。1897年在日本从事革命活动时化名中山樵,遂以中山名世。《建国方略》、《民生主义》是孙中山先生重要的代表
目的分析抗环瓜氨酸肽(CPP)抗体与类风湿因子(RF)联合检测对类风湿关节(RA)的早期诊断价值与意义。方法选取2013年2月~2014年2月本院住院部54例RA患者作为研究组,门诊部54例
目的:探讨临床上羊水过少产妇行阴道分娩对母婴围产结局的影响。方法以58例2013年1月1日~2014年1月1日在我院行阴道分娩的羊水过少的产妇为研究对象,同时以同期60例羊水正常
《乡土中国》一书大量引证《论语》,赋予其不同于传统注疏的新理解。《乡土中国》营造了文学化的语境来诠释《论语》,首先是注重修辞,以形象而富于表现力的语言将经典的理解
采用饱和D最优设计方法,研究了高压静电场强与作用时间对唐古特大黄种子萌发能力的影响。结果表明:在促进种子萌发和提高种子活力上,电场强度起着主要作用;当场强为270.4~612.8
课堂观察是一种系统行为,更是一种研究方法。文章基于课堂观察的LICC模式,以小学科学为例,选取教师提问有效性为观察点,进行课堂观察的诊断和分析,并提出教学建议。
目的对早期护理干预在早产儿黄疸中的影响进行分析和探讨。方法选择2011年3月~2013年3月在本院进行治疗的早产儿106例,按照随机数表的方法随机将其分为观察组和对照组两组,每
随着教育改革的不断深入,越来越强调提高学生的主体地位,参与式教学就是在这种环境下被提出和应用的。在高校思想政治理论课中应用参与式教学方式,有助于帮助不同层次的学习
致密砂岩储层是目前济阳坳陷主要勘探储层空间之一,本文从储集层的岩石学、物性特征、成岩作用进行分析,总结出影响济阳坳陷致密砂岩储层的主要控制因素是沉积环境、盐膏层、成