最近几年，物质的检测成为人们很关心的一个话题。拉曼散射凭借其低成本、实时性检测的特点，在物质检测及传感领域中占据重要的地位。但由于拉曼散射信号比较低的限制，自从这个现象被发现以来一直没有被广泛应用，直到1977年表面增强拉曼散射（SERS）现象出现，研究者发现当把待测物放置在粗糙的贵金属上时，拉曼信号可以得到几个量级的提高。因此，将拉曼散射推向实际应用的重要因素便是SERS基底的制备。传统制备SERS基底的方式主要有电化学粗糙法、化学合成法及模板法，但是到目前为止制备具有高灵敏度及高稳定性的SERS基底仍然存在很大困难。拉曼增强的主要原因归功于局域表面等离子体共振效应，即要求阵列间隙足够小。而聚焦离子束技术作为一种微纳加工技术，在SERS基底制备方面表现出很大的优势。本文主要从两个方面进行SERS基底的研究，一方面通过光学模拟方法设计并优化特定波长下的最优结构阵列，另一方面利用聚焦离子束制备高精度、一致性的SERS基底。实验中发现，由于金膜质地柔软的特性很难获得小间隙的结构，因此提出了一种简单、有效地加工方式，即先用聚焦离子束在硅片上加工结构然后通过后续镀金膜实现拉曼活性，后续通过参数优化及对金膜厚度的研究得到了一种高增强的SERS基底；另外，利用电子束辅助沉积的功能制备双金属SERS基底，最后成功制备出三维立体纳米圆锥阵列；通过对基底表征发现该方法制备的结构具有较高的灵敏度、稳定性及重复使用性，如：SERS基底结构的阵列间隙可以达到10nm以下，而且拉曼增强因子高达107倍等。