小型化是激光器技术发展的必然要求,对光学元件的集成化起着关键作用。基于表面等离激元的半导体纳米激光器是一种具有超快动力学特性的深亚波长纳米尺度相干光源,被称为世界上最小的激光器,是目前激光器克服衍射极限,实现小型化最有效的技术方法。这种激光器能够以前所未有的分辨能力和超快物理作用在纳米尺度下实现光学相互作用,不仅有助于在更小的尺度下研究光和物质的相互作用,为新科学发现提供技术支撑,同时在光学集成、高灵敏度生物探测等领域有着广阔的应用前景。然而目前在表面等离激元激光器研究领域仍存在以下两个主要问题:首先,高质量金属薄膜制备理论及工艺不完善导致金属所带来的损耗过高,影响表面等离激元激光器的阈值性能;其次,由无机或有机增益材料构成的表面等离激元激光器阈值仍然较高。这两个问题严重限制了表面等离激元激光器的实际应用。本文“基于表面等离激元的低损耗半导体纳米激光器研究”针对上述两个问题开展了理论分析和实验研究,力图为表面等离激元激光器的实际应用奠定技术基础。本文的研究成果进一步丰富了表面等离激元激光器的理论体系,为表面等离激元激光器的性能提升提供了技术储备,在非线性光学、超分辨探测、亚波长光子集成等领域具有重要的应用价值。本文的主要研究内容包括:1.在前人的基础上,开展了表面等离激元激光器的理论研究。采用有限元方法分析了表面等离激元激光器的超强模式约束特性;讨论了表面等离激元激光器的自发辐射增强特性及其对激光行为的影响;研究了表面等离激元激光器的动力学过程;研究了表面等离激元激光器的损耗特性。以上研究为表面等离激元激光器的制备、实验表征及性能优化提供了理论指导。2.从降低谐振腔损耗的角度出发,对金属薄膜的制备理论及工艺进行了深入研究。以银薄膜制备为研究主体,研究在不同沉积工艺条件下银薄膜的生长过程。以一种简单的低成本工艺实现了银薄膜的外延生长,获得了具有大面积超光滑表面的单晶银薄膜,在介电性能及表面平整度两个方面同时获得了接近理想状态的金属薄膜。分别采用单晶银薄膜,模板剥离银薄膜及常规热蒸发银薄膜研究了金属薄膜质量对Zn O纳米线表面等离激元激光器性能的影响。结果表明单晶银薄膜有效提升了表面等离激元激光器的阈值性能。针对实验结果,进行了谐振腔损耗及材料损耗的补偿分析,结果表明材料损耗是限制激光器阈值降低的主要因素。3.从降低材料损耗的角度出发,通过研究光学转换效率更高的增益材料,提出采用有机-无机杂化型钙钛矿材料作为增益半导体充分补偿器件中的损耗,实现室温条件下低阈值激射的表面等离激元激光器。采用改进的低成本低温溶液合成法制备了高质量单晶CH3NH3Pb I3纳米线,所制备的纳米线具有良好的几何形貌和优秀的光学性质。制备了基于钙钛矿纳米线的表面等离激元激光器,光学实验表征结果表明该纳米激光器在室温条件下可实现低阈值激射,最低阈值为13.5μJ cm-2,并且具有超快动力学特性,该激光器的最高工作温度可达43.6℃。