【摘 要】
：
近年来,随着尖端技术的发展,高新产品越来越趋于集成化、超精密化、外形小型化方向发展,因此其零部件也越来越趋于小型化,这就需要加工精度能达到微米级、亚微米级甚至纳米级
论文部分内容阅读
近年来,随着尖端技术的发展,高新产品越来越趋于集成化、超精密化、外形小型化方向发展,因此其零部件也越来越趋于小型化,这就需要加工精度能达到微米级、亚微米级甚至纳米级.掩膜微细电解加工(Electrochemical Micro-Machining,EMM)是一项新型的微细加工方法,是将光刻技术与电化学加工技术相结合,得到一种高效率、低成本、低污染的加工方法.本文在系统地分析了EMM的加工原理、加工条件的基础上,对光刻过程中的涂胶方法、甩胶速度、旋转时间、曝光参数、显影参数等参数对光刻结果的影响进行了试验研究,结果表明:涂胶方法对胶膜厚度和均匀性有较大的影响;膜厚随甩胶机转速的提高而减小;获得均匀胶膜的最低转速为1270r/min,最小甩胶时间为10s;试验所用光刻胶曝光时间和显影时间的许可范围较大.采用自制试验装置在静止电解液中对光刻胶膜厚度、加工电压、电极间距、电解液浓度和种类等参数对加工结果的影响进行了试验研究.试验表明:在试验过程中,光刻胶膜越薄、电解液浓度越高、加工电压越高侧向腐蚀越严重,小孔的形状精度和尺寸精度越差;电极间距越小,加工结果的表面质量越好.各工艺参数对加工结果质量有着显著的作用,优化参数对EMM有着重要的意义.
其他文献
多热源供热系统(Multi-heat source heating system，MSHS)设计主要是由太阳能集热器、空气源热泵机组、余热回收装置等多种热源有机组成，具有节能减排、运行经济、组装灵活、使
在双12脉动阀组串联结构的特高压直流工程中,以下过程可能导致系统进入金属旁通支路运行:直流场开关或刀闸的手动/自动控制、极层保护性闭锁、阀组保护性退出.文中针对各类金
第一章绪论部分介绍了本课题的研究目的以及国内外的研究情况,和对于超声波检测气体泄漏的基本原理进行了简单介绍。第二章首先介绍了Fourier变换的基本原理，并指出其局限性。
噪声污染已经成为困扰人类的主要环境问题之一，它不仅影响了人们的正常生活和工作，而且对人的心理和生理上都有着不可忽视的影响。面对日益突出的噪声问题，隔声材料和结构的研究
随着经济的全球化，国际间贸易日趋频繁，液货舱的应用越来越普及，客户对液货舱计量精度的要求也越来越高。对液舱容积进行准确、快速地检定，已直接影响到国家的经济利益及在国际上
逆向工程是指根据实物测量获得的数据重新构造实物的数字化模型, 它广泛应用于机械、医学、电影动画等领域。曲面重建是逆向工程中的关键技术,将人工神经网络应用于逆向工程领域、实现曲面重建还是一个新的课题。本文实现了大规模散乱数据点的简化,对自组织特征映射神经网络在曲面重建中的应用和径向基函数神经网络实现三角网格模型曲面的孔洞修补进行了研究。主要研究内容和成果如下: (1)研究了对大规模散乱数据点的简化技
滚子链是机械中重要的传动部件,在石油钻机的传动系统中,柴油机并车链传动属于典型的高速工作滚子链。国产普通滚子链在中、低速区能够正常工作;而在高速区时,链条经常出现早期失效,因此,提高高速工作状态下的滚子链传动系统的高速平稳性与降低噪声等使用性能是十分必要的,这也是目前滚子链研究的一个难点与热点。作者综述了高速滚子链国内外研究现状,并进行了以下研究工作: 归纳分析了齿形法线法理论、包络法理论、
本文针对数字图像处理中的图像阈值分割和区域中心提取问题，以及立体视觉测量中的摄像机标定和畸变图像校正问题进行了大量细致的研究工作，并在此基础上全面分析摄像设备、应用
本文以电线－电路板连接中一种连接用裂隙梁型接触端子为具体对象，摒弃了传统试验方法初始条件不确定性带来的数据误差以及计算机静态结构分析的片面性，针对接触端子的插接过程，采
语文综合性学习作为一种多元整合的学习方式，它为学生自主探究创设问题情境和广阔的学习空间，充分体现了语文学习内容的丰富性、学习途径的多样性、学习过程的实践性、学习目标