【摘 要】
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针对极紫外(EUV)多层膜的设计和表征过程中普遍采用的遗传算法(GA)所具有的大种群、求解速度慢、精度较低的问题,本文将实数编码的量子进化算法(RQEA)应用于周期EUV多层膜的
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针对极紫外(EUV)多层膜的设计和表征过程中普遍采用的遗传算法(GA)所具有的大种群、求解速度慢、精度较低的问题,本文将实数编码的量子进化算法(RQEA)应用于周期EUV多层膜的表征和宽光谱非周期EUV多层膜的设计过程中。首先,本文基于实数编码的遗传算法(RGA)和实数编码量子进化算法(RQEA)分别建立了针对等周期Mo/Si多层膜的掠入射X射线反射谱(GIXR)的反演拟合程序。其次,本文根据实数编码遗传算法和实数编码量子进化算法建立了非周期宽光谱EUV多层膜的设计程序,并对相应结果进行了比较理论以及实验上的分析。最后,结果表明:(1)针对四层模型的EUV多层膜,应用量子进化算法建立的GIXR的反演程序较基于RGA研发的程序具有种群小、求解速度快和精度较高的优点,可做到膜厚拟合精度为±0.1nm;(2)对于宽光谱膜层设计而言,基于量子进化算法建立的程序同样具有小种群的优点,同时求解速度以及精度较基于RGA建立的程序更为相接近。论文中所设计的宽光谱非周期多层膜的反射带宽为13-15nm(半高宽约2.3nm),反射率约为25%。总之,相关工作展现出量子进化算法的实际应用价值,为进一步的工作打下了基础。
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