多孔NbN薄膜的制备与性能研究

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超导现象的突破性发现,开辟了低温范围内全新的应用前景,各种新型超导材料可以用于制备在很多应用中有独特优势的超导探测器。超导纳米线单光子探测器的核心是由低温超导材料制备的超薄纳米线,纳米线通过接收光子,产生局域有阻区来探测单光子。超导纳米线单光子探测器因其高探测效率、低暗计数和宽响应谱等优势,得到了快速而全面的发展,在量子通信、量子计算等量子信息领域和生物物理等光电检测技术领域都有广泛的应用。制备超导纳米线单光子探测器的超导材料主要是氮化铌(Nb N)材料,Nb N薄膜的性能对器件的性能参数和质量有着
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