半导体激光可调合成波长链绝对距离干涉测量系统研究

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【摘要】

：

半导体激光器在绝对距离干涉测量领域有很大的应用潜力,而地导轨测量也是干涉型高精度测头的基础.该文提出一种用半导体激光器作为光源的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法

【作者】

：

晁志霞

【机构】

：

清华大学

【出处】

：

清华大学

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

：

可调合成波长链半导体激光器绝对距离测量差动干涉仪

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半导体激光器在绝对距离干涉测量领域有很大的应用潜力,而地导轨测量也是干涉型高精度测头的基础.该文提出一种用半导体激光器作为光源的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法及采用差动干涉结构的实现系统,适用于孔径、平行平面间距等重要参量的测量,并为此研制了633nm可调谐外腔半导体激光器,对干涉仪结构、信号处理方法等问题进行了理论和实践研究.

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