高分子电容式湿敏材料已经成为制作湿敏传感器最有前途的一类材料。聚酰亚胺类材料作为电容式湿敏材料普遍存在线性输出呈凸形、具有负电容温度系数的缺点,这主要是由聚酰亚胺材料较高的吸水性引起的。为了降低其吸水性,减小湿滞,改善线形输出,减小负电容温度系数,作者提出了将聚酰亚胺改性的思路,即在传统聚酰亚胺的基本结构单元上引入较大疏水基-氟基,力图达到生成具有低吸水性的新型含氟聚酰亚胺,研制出具有良好湿敏特性的电容式湿敏元件,为实用性湿敏传感器的研究打下基础。本文首先以较易得到的氯苯为原料分别通过硝化反应、选择性还原反应等五个步骤最终制得2,2’-二氟,4,4’-二胺基苯醚,利用FT-IR、DSC-TG等手段对每步的生成反应进行了研究。然后采用二步法制作了一种芳香族的含氟聚酰亚胺材料,利用FT-IR、DSC-TG等手段对该材料的生成反应和生成条件等进行了研究,探究了该含氟聚酰亚胺的生成机理。将该材料制作成电容式薄膜湿敏元件后检测了它对于水汽的灵敏度、响应时间、温度系数、线性度、湿滞等湿敏特性,还考察了膜厚、加热温度等因素对其特性的影响。研究了热处理温度、膜厚等因素对其特性的影响。通过对该湿敏元件的测试和影响因素研究,发现制得了湿敏特性优于传统聚酰亚胺的湿敏元件,其最终达到了以下湿敏特性:63%变化量响应时间为4.36S,灵敏度为0.5550PF/%RH、温度系数为-0.1351%RH/℃、线性输出仍稍显凸形、最大湿滞为1.81%RH。另外,本文还探讨了高分子电容式湿敏元件的制作,感湿机理,水分在聚合物中的渗透行为等。