多晶薄膜物相与结构深度分布的XRD直接分析法及其应用研究

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进一步系统地研究、讨论与发展了该课题组提出并建立的一种运用X射线衍射获取多 晶结构深度分布的直接分析方法.在这一方法中X射线以不同的入射角入射,测量各物相的 衍射谱,并通过一种数值计算方法获得不同深度层的X射线衍射谱.此方法可得到各确定深 度处的结构信息,包括衍射峰的峰位、峰强和线形;而不是由表面到某深度处的平均结构信息,并能够适用于吸收系数随深度变化和有较弱择优取向的样品.
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