【摘 要】
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石墨烯(Graphene)是首个在实验中发现的二维材料,因其独特优异的性能,迅速引起了广泛的研究热潮。其中石墨烯生长是最重要的研究点,石墨烯的大面积生长以及大尺寸单晶生长是关键,石墨烯的转移是石墨烯研究的难点。本论文采用化学气相沉积法、拉曼光谱技术、场效应管测量技术,结合低压化学气相沉积系统(LPCVD)对生长条件进行调控,就石墨烯的生长、石墨烯的转移方法以及石墨烯电学表征三个方面进行研究,取得了
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石墨烯(Graphene)是首个在实验中发现的二维材料,因其独特优异的性能,迅速引起了广泛的研究热潮。其中石墨烯生长是最重要的研究点,石墨烯的大面积生长以及大尺寸单晶生长是关键,石墨烯的转移是石墨烯研究的难点。本论文采用化学气相沉积法、拉曼光谱技术、场效应管测量技术,结合低压化学气相沉积系统(LPCVD)对生长条件进行调控,就石墨烯的生长、石墨烯的转移方法以及石墨烯电学表征三个方面进行研究,取得了以下的结果:石墨烯的单晶生长,通过在退火阶段和生长阶段引入氩气,降低了石墨烯的成核密度,增加了石墨烯单晶
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