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透明导电氧化物薄膜由于具有良好的电学性质和光学性质已被广泛应用于透明电极、液晶显示器、太阳能电池、防静电涂层以及各种光电设备中。目前,透明导电氧化物薄膜主要包括SnO2、In2O3、ZnO及其氧化物的掺杂体系。现在应用最广泛的透明导电氧化物薄膜是ITO,但因为其有毒、价格昂贵以及在氢等离子体中不稳定等缺点,人们开始寻求新的材料来代替它。而掺杂的ZnO基薄膜价格低廉,在氢等离子体中稳定性高,同时具有与ITO薄膜相比拟的光电性能,已成为替代ITO透明导电薄膜的研究热点材料。本文采用溶胶-凝胶