基于菲索干涉仪的平面面形精度检测技术研究

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随着光学制造业的不断发展,对于所生产的光学元件检测的水平要求也是在不断的提高。其中菲索干涉仪可以作为一种非接触、高精度、结构简单的检测设备,可以有效快速的检测出平面面形结构信息。要想准确获得面形信息,其中对于条纹图的预处理和相位提取恢复的研究是十分的关键。本文主要针对菲索干涉仪采集到的条纹图中条纹滤波和相位恢复问题进行研究,主要内容如下:研究菲索干涉仪的基本结构和测量原理、影响干涉条纹检测精度的因素和传统的移相技术。为了能够解决传统滤波算法不能去除菲索干涉仪采集到条纹噪声的问题,对中值滤波算法进行改进,充分利用条纹的方向对噪声进行滤波,分析了噪声的特点,通过仿真和实验来验证本文改进算法的有效性,同时通过信噪比和保真度对图像质量进行定量的评价。研究不同相位提取算法的优缺点,为了能够解决背景光强对施密特正交化相位提取的影响,对它进行了改进加入最小二乘法,并且通过仿真和实验验证改进后算法的有效性,和传统的相位提取恢复算法相比,该方法还具有一定的抗噪性,同时对平面面形的重构进行研究。研究对测量精度的影响,具体分析了不同条纹数量、噪声以及相位对算法精度的影响,通过对手机玻璃面板的检测检验本文改进滤波算法和相位提取算法的有效性。
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