【摘 要】
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本文采用溶胶—凝胶工艺在玻璃基体表面制备了涂覆层数分别为一层、三层和五层的纳米Ti O_2薄膜以及具有Ce4+掺杂的一层、三层和五层的纳米Ti O_2薄膜。研究了Ce4+掺杂和薄膜厚度对薄膜与基体结合强度的影响。利用原子力显微镜AFM对样品的表面形貌进行分析,结果表明:Ti O_2薄膜的颗粒度随着涂覆层数的增加逐渐减小、Ce4+掺杂使得Ti O_2薄膜的颗粒度减小。利用椭圆偏振光谱仪和脉冲射频辉光
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本文采用溶胶—凝胶工艺在玻璃基体表面制备了涂覆层数分别为一层、三层和五层的纳米Ti O_2薄膜以及具有Ce4+掺杂的一层、三层和五层的纳米Ti O_2薄膜。研究了Ce4+掺杂和薄膜厚度对薄膜与基体结合强度的影响。利用原子力显微镜AFM对样品的表面形貌进行分析,结果表明:Ti O_2薄膜的颗粒度随着涂覆层数的增加逐渐减小、Ce4+掺杂使得Ti O_2薄膜的颗粒度减小。利用椭圆偏振光谱仪和脉冲射频辉光放电光谱仪对各个样品进行分析,结果显示:基体表面涂覆一层,三层和五层纯Ti O_2薄膜的厚度分别约为40
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