随着化石能源的逐渐耗竭以及人类对环境保护的认识，新能源发展迅速，其中太阳能的利用具有非常大的前景。传统的晶体硅电池转化效率低，制造成本高，而薄膜电池的稳定性一直受到人们的质疑。硅基异质结太阳能薄膜电池包含单晶硅衬底和掺杂非晶硅/微晶硅薄膜形成的异质结，是一种结合了晶体硅电池稳定性与薄膜电池低成本利于大面积制造特点的新型高效率电池。影响硅基异质结太阳能薄膜电池转换效率的最主要的因素是异质结的制造，其主要包括本征非晶/微晶硅薄膜的沉积和掺杂非晶/微晶硅薄膜的沉积。在这篇论文中，我们主要研究了以下几个方面：1.使用马弗炉在单晶硅片背面热扩散硼酸或五氧化二磷制得背电场，测试了背电场的方块电阻和掺杂浓度。2.使用等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)在石英玻璃衬底上分别沉积了非晶硅和微晶硅薄膜，并研究了非晶硅和微晶硅薄膜的生长情况和光学性质。3.使用PECVD在不同衬底上沉积微晶硅薄膜，研究了衬底对微晶硅结晶性能和生长情况的影响。