相对于传统的游离磨料加工，固结磨料加工工艺能够高效的利用磨粒且加工质量更加容易控制。但是在将其应用于精密光学表面加工时，受固结磨料粒度所限常需要在不同工序更换抛光垫，这就造成工艺的不稳定且加工效率降低。本文以实现给定抛光垫的磨削深度控制为研究目标，以半接触状态下的固结磨料加工工艺为研究对象，探究了加工过程中抛光液膜对加工过程的影响。本文主要研究内容包括：假设加工过程中抛光垫所受抛光压力由间隙液膜和与工件接触的磨粒共同承担，所以从抛光垫表面形貌入手建立其数学模型，获取了表面粗糙峰的高度数据，进而推导出间隙液膜厚度及磨削深度分布；将膜厚分布与流体动力学基本方程相结合，描述了加工过程中的流体润滑行为，并通过有限差分算法求得间隙液膜动压力数值解；通过基于硬脆材料去除机理建立的数学模型计算出了抛光垫与工件的接触力和抛光压力；最后，从实际加工中系统控制的角度出发，探讨了最大磨削深度与流体动压力及接触力的关系、工艺参数对加工状态的影响以及流体动压力在抛光压力中所占比重。本论文将抛光液膜的影响引入了固结磨料加工中，以理论研究为基础分析了半接触状态下液膜动压力、接触力和抛光压力的作用规律以及工艺参数对加工质量的影响，研究成果对实际加工具有指导作用。