【摘 要】
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摘要椭圆偏振测量是通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法.由于椭偏测量精度高和灵敏度高,具有非破坏性和
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摘要椭圆偏振测量是通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法.由于椭偏测量精度高和灵敏度高,具有非破坏性和非扰动性,被广泛应用于光学工业、电子工业、金属材料工业、化学工业及物理学、化学、生物学和医学研究等许多领域中.本项目的研究内容涉及光机电算多学科的技术,是一个综合性的复杂探测系统.针对HST-1型椭偏仪存在的缺点和不足之处,对仪器系统进行了深入的研究,研究系统各个器件的运行参数和性能,使之最优化,能够达到更好的性能.
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