利用MEMS技术生产的微型加速度传感器,可以突破传统检波器对地震勘探技术发展的"瓶颈"式束缚,使地震检波器的性能得到极大提高,因此,对其进行研究具有重要的理论意义及应用价值.该论文在对现有的微加速度计较为全面的研究基础下,优化设计并分析了一款新型的用于地震检波的微加速度计.论文综合利用了材料力学,振动力学,控制工程,有限元方法等领域的相关知识和方法,结合地震检波器的使用要求,对微加速度计的结构和尺寸进行了优化设计,并对所设计的结构做了模态分析,验证了所设计结构的固有频率和抗耦合性能.论文还利用微加速度计中空气的阻尼特性,提出了两种方法控制惯性系统的结构阻尼,使开环系统达到最佳阻尼比.由于微加速度计存在机电耦合场,论文分析了耦合场的产生机理,提出了一种近似方法并推导了近似公式,可用于计算机电耦合场对微加速度计灵敏度的影响,其计算误差与数值法相比仅为2.5％.通过设计检测电路参数和闭环系统参数,对测量系统的动态性能做了分析与调整,使其尽可能满足设计要求.最后,通过对加工的微加速度计成品的实验,检测了加速度计的灵敏度,固有频率等参数.实验结果表明实际性能与设计的理论值有较好的一致性.该文所开展的有关研究工作,不仅对低g微加速度计的设计进行了必要的探索,还为进一步将微加速度计应用于地震检波奠定了基础.