【摘 要】
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该文便对这种形状记忆合金薄膜驱动的复合膜微驱动器进行了理论研究和有限元仿真分析,对结构进行优化设计和实验研究.结构几何参数在设计中是一个影响器件性能的非常重要的因
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该文便对这种形状记忆合金薄膜驱动的复合膜微驱动器进行了理论研究和有限元仿真分析,对结构进行优化设计和实验研究.结构几何参数在设计中是一个影响器件性能的非常重要的因素,该文应用薄板大挠度理论对驱动膜进行了初步的理论研究.把复合膜的边缘部分和中心双膜区域的结合面作为连续边界条件处理,分别独立研究,建立了不等宽度的复合膜的理论模型.应用此理论方程可以对复合膜的厚度及其宽度等结构参数对于复合膜的挠度的影响进行分析.该文最后制备了电阻条图案经过优化了的复合膜微驱动器,并应用激光干涉的方法对其动态的驱动性能进行了多种工况下的对比测试,实验测得的规律可以用仿真的结果加以解释.与驱动器优化前的性能测试数据相比,通过优化设计,驱动器的性能得到了显著的提高.从该文的工作还可以看出,在MEMS器件的开发中,从概念设计的提出到仿真研究的确认,以及进一步的结构设计优化在整个器件开发过程中扮演着非常重要的角色,重视有限元仿真研究在器件开发过程中的作用,对于我们节省研制费用、加快器件的开发进度,提高器件的设计水平有着重要的意义.
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