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工件台系统是光刻机的重要子系统，工件台系统的运行速度、加速度、系统稳定性和系统的定位建立时间对光刻机的生产精度和效率起着至关重要的作用。在本课题中α光刻样机采用双工件台系统，主要包括直线运动系统和双台交换系统，为了验证工件台系统的各项指标是否满足设计要求，基于有限元分析理论基础，对工件台系统进行动态特性分析，并进行结构和方案的优化设计。由于光刻样机工件台系统广泛采用气体静压润滑，在进行动态特性分析之前，进行了气体静压润滑的静态特性分析，求出不同厚度气膜的承载力和刚度，选择了最优的工作气膜厚度