基于声表面波技术的新型器件的研制与分析

来源 :安徽大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skybey
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)是传播于压电晶体表面的机械波,其声速仅为电磁波速的十万分之一,传播衰耗很小。声表面波器件是在压电材料上利用集成电路技术和半导体平面工艺制作的,抗辐射能力强,动态范围很大;声表面波器件具有体积小、重量轻、可靠性高、一致性好、多功能以及设计灵活等优点,在国民经济中已得到广泛应用。   本论文主要围绕声表面波新型器件的研制与分析的有关方面展开研究。对基底材料、敏感薄膜的选取与制作进行了研究,并对声表面波气敏传感器和远距离声表面波射频识别系统进行了优化设计、制作与分析。论文的主要内容包括:   1.介绍了声表面波在各向同性媒质、各向异性媒质中的传播特性,并对声表面波器件的关键部件-叉指换能器的结构和工作原理进行了分析。   2.分析研究了声表面波用压电材料的特性,对不同基底材料不同切向的声表面波器件进行了仿真。   3.研制了多通道延迟型和谐振型声表面波传感器。声表面波传感器的中心频率分别选取为100MHz、148.5MHz和315MHz。   4.从理论上研究了声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度对系统灵敏度的影响。分析了气体浓度、敏感薄膜厚度、敏感薄膜密度对系统灵敏度的共同影响。提出了最佳薄膜厚度的概念,并给出了相应的关系式。   5.声表面波标签天线小型化的设计是减小声表面波标签的尺寸的关键。本文通过将印刷偶极子臂弯折变型,设计了一款工作于433MHz频率上的小型化偶极子天线,经过ADS软件对该天线建模与仿真,验证了这款小型化天线完全满足声表面波射频识别的需要。  
其他文献
毫米波高端的F波段(90-140GHz)和D波段(110-170GHz)覆盖了很宽的频率范围,蕴涵着极大的频谱资源,在地面短距离宽带通信、星际通信、雷达目标探测、高分辨率成像、精确制导及电子对
在我国,随着无线通信技术的飞速发展,天线行业已在我国国民经济中占据重要的地位。但是在短波频段,天线的发展还相对滞后,没有新的突破。由于短波天线自身体积大、常架设于野
气候变化及其对农业的影响成为全球的研究热点问题之一。近100年来,华北地区平均气温增加速率达到了1.1℃/100a。黄淮地区是世界和中国(冬)小麦主产区。研究气候变化对黄淮地区
夜暗条件下的视频图像因存在大量的暗连通区域而遮盖了图像的细节信息,不便于直接观察与分辨。论文研究夜视图像实时增强技术,设计了基于DSP的低照度视频图像处理系统,适应了
本文采用两种制备方法在Si3N4基底上制备得到具有金属-绝缘体相变特性的氧化钒薄膜,即:一、离子束溅射高价非稳态氧化钒薄膜和还原热处理制备;二、直流对靶磁控溅射氧化钒薄膜和
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
期刊
认识生态系统服务与居民福祉的空间耦合特征是加强生态系统管理,进而保育生态系统服务、提高居民福祉的前提,但联合国千年生态系统评估以来二者关系的研究仍以概念框架和大尺度
微带天线由于其低成本、低剖面、易于加工及便于集成等优点获得了极大的发展。近年来,微带天线研究的热点始终有微带陷波天线,微带多频天线等类型。在此基础上,微带天线设计
有关RNA干扰(RNA interference,RNAi)的研究已受到广泛的关注并获得了2006年的诺贝尔生理学及医学奖。随着科学家对RNA调控的深入研究,发现dsRNA(double-standed RNA,dsRNA)不仅
文人与砚的关系像挚友,相互依赖。文人对砚的喜爱和依赖,化作一段段佳话和一首首诗作,供后人回味。南唐后主与晕石砚南唐后主李煜,好读书,善作诗文,工书画,知音律,对文房四宝