长周期波导光栅(LongPeriod Waveguide Grating, LPWG)相比长周期光纤光栅(LongPeriod Fiber Grating, LPFG)在选材上更加丰富,制作工艺上更加灵活。本论文设计了基于Ti扩散的LiNbO3光波导长周期光栅,制备了样品并对其进行了表征,取得了一些初步实验结果,为进一步的研究奠定了基础。本论文的主要工作包括以下三个方面:1、设计了一种基于Ti扩散技术的LiNbO3长周期波导光栅的结构:以Z切LiNbO3晶体为基底,在其工作面上应用Ti扩散技术制备平板波导做为包层,再通过光刻和二次Ti扩散制备条形波导做为芯层,然后在其工作面上应用光刻技术以光刻胶为覆盖材料制作光栅结构。2、具体实验过程为:在Z切同成分LiNbO3晶体表面通过直流溅射技术,溅射一层厚度为60nm的Ti金属薄膜,在1050℃下进行Ti扩散,扩散时间为10h,形成平板波导;通过光刻技术和直流溅射,在平板波导表面,制备宽度6μm,厚度为80nm的Ti条,在1050℃下进行Ti扩散,扩散时间为8h;在工作面上匀涂光刻胶,固化后,通过光刻技术制备周期光栅结构,光栅周期为190μm,最后得到了基于Ti扩散技术的LiNbO3长周期波导光栅。3、根据上述扩散条件,进行计算,包层的TM0模式的有效折射率Ncladding为2.140473,芯层TM0模式的有效折射率(Ncore)为2.148647,根据相位匹配条( ),得到共振波长为1553nm。4、应用端面耦合技术,将带宽范围为1510-1590nm的光耦合入波导,使用光谱分析仪,得到透射能量光谱,结果显示,其透射谱吸收峰在1555nm处,和计算出的结果基本符合。